日本SSD西西蒂 防静电气障灾害和电离器对策

如何选择离子发生器？

• 安装空间

• 物体移动速度

• 物体大小和距离

• 物体抗静电能力

• 物体上产生的静电量

• 离子发生器所需的离子平衡

• 风的影响和压缩空气的可用性

• 附近是否有可能受电离器影响的电子设备

• 需要静电消除的地方的环境各不相同，所以专家的建议是必不可少的

静电障碍灾害与电离器对策（半导体篇）

防止设备 ESD（静电释放）损坏

半导体器件可能会在ESD和电场的影响下被破坏。

※电离器衰减导致静电破坏的带电产物的电荷，抑制ESD和强电场的产生，减少。

※产品推荐：对于此应用，需要具有良好离子平衡的产品，因此 BF-X2ZB-V2 和 BF-2ZC 适用于高频鼓风机类型。此外，长时间维持静电消除效果的“HDC-AC方式”的离子平衡为3V以下的 BF-X2ME 也适用。Zapp II适用于微小零件和深部工件的静电消除。

减少颗粒物和灰尘造成的表面污染

一种集成度高的半导体器件，是在晶圆上通过超精细加工而制成的。在晶圆加工过程中，由于耐热性、耐化学性、不产生粉尘等要求，很多采用特氟龙、石英等绝缘材料制成的治具。晶片和这些材料很容易摩擦带电以产生高电位。由于这种静电引起的电场影响，细小的颗粒被吸引到晶圆、光掩模等的表面，导致缺陷和故障。

※通过应用离子发生器，可以快速抑制和衰减产生的充电电位，从而减少这些障碍。

  ※推荐产品：HDC-AC BF - XMB和BF-X2ME适用于此应用。Zapp II适用于微小零件和深部工件的静电消除。BUA 等空气静电消除器适用于空气除尘。

防止微处理器和机器人的电磁干扰 （EMI） 故障

电磁波随着ESD的产生而产生。由于在制造过程中使用了许多配备微处理器的自动化运输设备，因此这种 EMI 会导致微处理器发生故障或异常停止。

※如果应用离子发生器来防止导致 EMI 的 ESD，则可以快速降低高电荷电势。

  ※产品推荐：适用于 HDC-AC 型鼓风机类型，如 BF-X2ME 和 BF-X2DD-V2。 ZappII 适用于去除微小零件或后部工件。

改进产品处理

由于静电场的影响，带电的轻量部件和薄膜有可能相互粘附，排斥力会造成错位和粘附，导致搬运效率下降。

※离子发生器的应用降低了这些带电部件、材料、工具等的电势，并减少了电场的影响。

※产品推荐：适用于商业频率条形和 HDC-AC BF-X4MB。 如果薄膜的宽度较大，则在某些情况下也可以安装条形电极。 此外，大型鼓风机 BF-6MB 可能也适用。 ZappII 适用于去除微小零件或后部工件。

提高液晶质量

由于静电的影响，液晶制造过程中可能会出现缺陷。

※电离器的应用降低了这些带电部件和材料、工具等的电位，减少了缺陷。

※产品推荐：适用于 HDC-AC 型鼓风机类型，如中型 BF-6MB。 如果薄膜的宽度较大，则交流条形电极或直流条形电极也有效。

静电障碍灾害与电离器对策（印刷业其他一般工业相关篇）

提高喷漆质量

由于静电的影响，在涂装过程中可能会由于灰尘的粘附而出现缺陷。

※电离器的应用降低了电位，如这些带电的灰尘和工件，以减少灰尘粘附引起的缺陷。

  ※产品推荐：枪型AG-5、AGZⅢ、AGZⅡ-PA、HDC-AC鼓风机型、中型BF-6MB等均适用。但在防爆环境下使用时，只能使用经防爆认证的产品。

提高薄膜质量

由于静电的影响，灰尘和异物可能会粘附在薄膜上。

※电离器的应用降低了这些带电的灰尘和薄膜等电位，减少了灰尘粘附引起的缺陷。

※产品推荐：对于此应用，吸尘器 H 型、HDC-AC 型鼓风机型、中型BF-6MB、商业频率型棒型等都是合适的。如果薄膜在高速行进时，消除静电的能力就会不足，因此需要请教专家。

防止印刷和喷漆过程中的火灾

由于静电的影响，可能会点燃印刷涂料。

※电离器的应用可以降低电位，如这些带电的工件和薄膜，从而降低点火风险。

  ※产品推荐：对于这种应用，商用频率棒类型是合适的。但在防爆环境下使用时，只能使用经防爆认证的产品。

零件供料器输送故障的预防

由于静电的影响，零件送料器中的工件会导致传送失败。

※离子发生器的应用可以降低这些带电工件的电位并降低运输失败的风险。

  ※适用产品：对于此应用，紧凑型高频型BF-SZAII、高频型ZappII、商用频率型点型 BP 型等不喜欢强风，因此很适合。

容器内部静电引起的异物粘附

由于静电的影响，异物可能会粘附在容器中。

※应用电离器可以降低这些带电容器内的电位，降低异物粘附的风险。

  ※产品推荐对于这种应用，可以将喷嘴插入容器的高频 Zapp II 和商用频率DK型是合适的。特别是，Zapp II拥有多种喷嘴选项，从普通空气喷嘴选项到氮气喷嘴选项，可用于各种容器。

防止工人不适，提高工作效率

由于接近带电物体而引起的不适，工作效率降低，例如由于充电物体或操作员自身的 ESD 对闪电的不适。 人体与衣服的摩擦，静电由鞋和地板之间的摩擦等引起。 此外，由于行走操作引起的电容变化，电位迅速增加。

※为了防止人体带电，不使用电离器。 也就是说，当需要佩戴接地装置（如腕带或导电鞋）时，不能使用电离器来代替这些接地装置。 服装之间的摩擦，人体的充电由于鞋和地板之间的摩擦是快速的，也由于步态电容的变化而电位增加也迅速。 对于这种突然的电位变化，电离器产生的离子的电荷去除不能立即响应。 然而，电离器对工人周围带电物体的除静电是有效的。 降低带电物体的电位，通过保持低电位，减少操作员接触带电物体时产生的电击和不适，可以提高工作效率。